常州磁控溅射钨钛合金靶材 WTi合金靶材

  • 2025-03-15 09:08 2262
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钨是一种非常重要的有色金属,它具有密度高、强度大、耐高温等一系列特性,通常被用于配重材料、屏蔽材料以及部材料,在医疗、工程机械、五金工具、、航天等领域应用范围广阔
常州磁控溅射钨钛合金靶材
优点在于:采用钨、钛粉末原料的混粉、压制、烧结及电弧熔炼过程进行制备,有效解决了传统钨钛合金制备效率低、材料均匀性和杂质含量不易控制的技术问题,不但工艺简单易操作、能方便制备出钨质量百分数为10~60%的钨钛合金材料,同时制备效率高,而且能够保证钨钛合金的充分合金化和成分均匀性,适用于批量制备。
常州磁控溅射钨钛合金靶材
一种钨钛合金的制备方法,其特征在于包括以下步骤:1)将钨粉及钛粉按配比进行称量,在惰性气氛保护下混合均匀,其中钨粉的质量百分比为10~65%;2)采用机械压机或冷等静压机压制成坯料;3)坯料放入真空烧结炉中进行致密化烧结;4)钨钛烧结料出炉冷却后在非自耗真空电弧炉中进行熔炼,得到所需的钨钛合金。2.根据要求1所述的制备方法,其特征在于:所述步骤1)的钨粉的粒度范围为1~10μm,钛粉的粒度范围为1~150μm,混合时,将两种粉末倒入混料罐中并按球料比1:4加入钨球,抽真空后充入氩气,混粉时间4~8小时。3.根据要求1所述的制备方法,其特征在于:所述步骤2)的压制成坯料的压制压强为50~200MPa,压坯尺寸各方向不小于0.5c...
常州磁控溅射钨钛合金靶材
制备方法
(1)将钨酸铵加入蒸馏水中加热溶解,再加入钛酸丁酯和异丙酯;
  (2)再滴加盐酸溶液,磁力搅拌混合均匀;
  (3)将混合溶液置于高压反应釜中加热反应;
  (4)再冷却至室温后过滤,得到沉淀物;洗涤沉淀物,并烘干;
  (5)将烘干的沉淀物放入马弗炉中灼烧,得到氧化钛和三氧化钨粉体;
  (6)将氧化钛和三氧化钨粉体置于等离子反应室中,在该反应室内通过电离惰性气体形成高温等离子体,氧化钛和三氧化钨粉体被高温等离子体加热后在还原气氛下还原成钨钛粉。

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