长沙钨钛合金靶材厂家

醴陵市利吉升新材料有限公司

钨钛合金薄膜具有电阻率低,导电导热性、耐腐蚀性能、化学稳定性好,热膨胀系数低等优点,满足集成电路对扩散阻挡层的性能要求,广泛应用于微电子行业

一般说
来，在颗粒大小等其实条件相等的条件下，碳化钨的含量百分比越高，硬质合金所表现出的硬度就越高，这意味着它的耐磨性更高。但同时也意味着它的钴的含量百分比较低，表现为韧性较低，耐冲击性较低。就目前的技术来说，颗粒细化、涂层、梯度合金(主要指富钴层)等一些技术可以在维持原有韧性的同时适当提高一些耐磨性，但就同样采用了这些技术的产品来说，基本规律并没有变化。

由于合金靶材的纯度关系到溅射薄膜的性能,靶材的纯度越高,碳杂质含量越低,加工工艺通常采用惰性气体保护降低碳杂质的影响。为实现高机械性能与工艺性能,需尽量提高合金的纯度,对碳元素含量的检测要求相应提高

液态钛简直能溶解一切的金属，因而能够和多种金属构成合金。钛参加钢中制得的钛钢坚韧而赋有弹性。钛与金属Al、Sb、Be、Cr、Fe等生成填隙式化合物或金属间化合物