长春钨钛合金靶材价格

醴陵市利吉升新材料有限公司

纯钛是银白色的金属，它具有许多优秀功能。钛的密度为4.54g／cm3，比钢轻43% ，比久负盛名的轻金属镁稍重一些。机械强度却与钢相差不多，比铝大两倍，比镁大五倍。钛耐高温，熔点1942K，比黄金高近1000K ，比钢高近500K。 钛归于化学性质比较生动的金属。加热时能与O2、N2、H2、S和卤素等非金属效果。但在常温下，钛表面易生成一层极薄的细密的氧化物保护膜，能够反抗强酸乃至的效果，表现出强的抗腐蚀性。因而，一般金属在酸、碱、盐的溶液中变得千疮百孔而钛却安然无恙

钨钛合金属于一种硬质合金,加工工艺为粉末冶金,按一定配比将高纯度金属钨粉与钛粉混合后以球磨机混匀,再经过惰性气体–真空炉,用真空热压、热等静压等设备烧结而成,通常作为合金靶材

以高纯度W和Ti制成的合金。常用的成分为含10%Ti的W-10Ti。......和钛粉经混合、压制和特殊的烧结工艺或用真空热压、热等静压等工艺制成。用作超大规模集成电路薄膜工艺中的溅射靶。钨钛薄膜具有良好的导电性和耐蚀性。

氧含量是钨钛合金性能判定的一项重要指标,氧易在溅射过程中形成细小离子,削弱薄膜阻挡能力,使其使用性能变差