江苏钛靶材厂家 昆山世高新材料科技有限公司

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昆山世高新材料科技有限公司

公司:昆山世高新材料科技有限公司简称:世高产品:靶材材质:用途:高清电视、OLED、笔记本电脑、手机、薄膜、HIT太阳能电池、光学镜片等
在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
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对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。
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靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。
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此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。
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