AZO靶材 昆山世高新材料科技有限公司

是一种导电镀膜材料，AZO 薄膜由于具备材料无毒性、制备温度低、工艺相对简单、易于实现掺杂等特点。

AZO膜的制备方法中，研究和应用广泛的是磁控溅射技术。

制备AZO薄膜的方法有很多种，主要有磁控溅射法、金属**物化学气相沉积法、脉冲激光沉积法、喷雾热分解法、分子束外延法及溶胶一凝胶法等。其中，磁控溅射法制AZO薄膜具有较高的沉积速率、低的衬底温度和良好的衬底粘附性等优点而被广泛的应用。

具有沉积速率高、基片沉积温度低、成膜粘附性好、易控制、成本低，能实现大面积制膜的优点，成为当今工业化生产、研究多、成熟、应用广的一项成膜技术，也是AZO薄膜制备中常用的方法。