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武汉钨钛合金靶材电话
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品名：WTi是否危险化学品：否杂质含量：0.05主要金属含量：99.95产地：株洲
金属钨 与 金属 Ti 通过粉末冶金的方式 制备的合金材料，通常有W-10Ti at% 主要应用于集成电路的薄膜制程
钨钛合金属于一种硬质合金,加工工艺为粉末冶金,按一定配比将高纯度金属钨粉与钛粉混合后以球磨机混匀,再经过惰性气体–真空炉,用真空热压、热等静压等设备烧结而成,通常作为合金靶材
由于纯钨很脆，难以加工，所以钨大多数都是与其他的金属形成合金或以钨的化合物被广泛运用。
氧含量是钨钛合金性能判定的一项重要指标,氧易在溅射过程中形成细小离子,削弱薄膜阻挡能力,使其使用性能变差
