据《中国靶材行业报告》的统计,我国靶材产业的市场规模逐年扩大,仅溅射靶材在半导体集成
电路领域的应用规模目前就已经达到十多亿元。
铂是一种化学元素,俗称白金,属于铂系元素,它的化学符号Pt,是贵金属之一。原子量195.078,略小于金的原子量,原子序数78,属于过渡金属
铂钌合金
以铂为基含钌的二元合金,有PtRu4、PtRu5、PtRu10和PtRu14等合金。钌提高抗腐蚀能力,抗变色能力很强,在900℃以上钌选择性氧化和挥发。用高频感应加热炉氩气保护熔炼
铂银合金
以铂为基含银的二元合金,在1185℃和45%Ag处发生包晶反应。该合金强度高、弹性好且弹性后效低、电阻系数小、热电势低、耐热、耐腐蚀、无磁、性能稳定,铂银合金熔炼和加工都很困难,一般用高频感应加热炉氢气保护熔炼,铸锭须经均匀化后,加工成板片和线材等。
铂钼合金
以铂为基含钼的二元合金,富铂固溶体为面心立方结构,电阻系数随钼含量增加呈直线上升。铂钼合金抗拉强度为922N/mm-2,电阻系数为0.64Ω.mm-2/m,电阻温度系数为2.4X10-4/℃。用高频感应加热炉氢气保护熔炼,冷凝排气数次,铸定经热锻后冷加工成线材和片材等。铂钼合金主要用做热电偶材料,热电势高、稳定性好,能在核场中工作,使用温度为1500~1600℃。此外,铂钼合金还可用作电位器绕组和高瘟应变材料。